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LED外延片点测缺陷检查

目的:1号片和2号片点测数量到一定次数后点测针会磨损,必须更换点测针,

        检查点测后的针痕大小判断点测针的磨损程度

 

条件: 点针后大小没有超过三分之一(OK)

      点针后大小超过三分之一(NG),需要更换点测针

 

1号片检测结果

2号片检测结果

检测结果

模型 测试图 区域数量 预测 修正 阈值
1号片 48 72 173 69 95.68%
2号片 32 60 158 57 98.42%

 

图像范围:点测晶圆大小是5um~25um

测试图:训练,验证,测试集的比例分别为5:3:2

区域:在中间明显部位描绘出特征区域,左右部分因为铜针的影响成像不清晰

阈值:找出缺陷特征的理想阈值范围是93%~98%

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